「시스템집적반도체기반기술개발사업」 5차년도 사업 추진

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- 동 사업의 생산유발효과는 2002년말 1,111억원에 이를 전망 -

산업자원부 반도체전기과 2110-5683

<> 비메모리의 핵심인 시스템IC 기술혁신을 위해 산업자원부와 과학기술부가 공동

으로 추진하는 「시스템집적반도체기반기술개발사업」의 4차년도 사업이 지난

6월로 종료되고 7월 1일부터 5차년도 사업이 시작

o 5차년도('02.7.1∼'03.6.30) 사업은 35개 과제에 38,973백만원(정부 17,173백

만원)이 투입될 예정이며 1단계 사업의 가시적 성과를 끌어내는데 초점을 맞

출 방침

- 시스템IC 분야에서는 고성능 Embedded CPU/MCU, 0.18㎛ EML 설계기술과 통

신용 핵심 IC 기술 등을 집중 개발

- 구리배선기술, High-K 물질, 박막분석기술 등의 개발을 통해 차세대 나노급

(70㎚) 제조기술을 확보

- 300㎜용 Oxide Etcher, Spin Etcher 등 양산장비 개발에 주력

o 4차년도 사업성과를 보면, 86건의 특허출원과 19건의 특허등록(국외7, 국내12)

이 이뤄졌으며 학술발표 104건, 논문게재 105건(국외13, 국내92)을 기록

※ 특허등록 : 0(1차년도) → 11(2차년도) → 9(3차년도) → 19(4차년도)

- 32bit 저전력 고성능 MCU와 독자적인 EISC Processor를 개발해 상품화를 앞

두고 있고 IP는 전년대비 69% 증가한 208개를 개발 보유

- 차세대 소자적용이 가능한 저 유전물질을 개발해 IBM 등에서 양산적용 가능

성을 평가 중

- 0.13㎛급 양산용 Track 장비를 개발, 삼성전자 등에 공급할 예정(일본 DNS

사는 장비성능이 뒤떨어져서 개발을 포기)

<> 동 사업은 기술혁신의 가속화에 의한 이익을 제외하고도 금년 상반기까지 매출

508억원을 유발시킴.

o 시스템IC 분야에서는 차세대 마이크로프로세서 개발로 기술이전이 일어났고

일부칩의 상용화가 이루어짐에 따라 총 194억원의 매출이 발생

o 장비 재료 분야에서는 300㎜ 웨이퍼 장비시장이 본격적으로 형성되지 못했음

에도 불구하고 CVD, Track, 패키징장비 등에서 301억원의 매출실적을 기록

<> 금년 하반기부터 MCU 제품군 등 시스템IC를 중심으로 본격적인 상용화가 이루

어질 경우 매출 규모는 1,120억원에 이를 것으로 전망

※ 4차년도까지 총 1,518억원 사업비 투입(정부 678억원, 민간 840억원)

< 참고 1 > 시스템집적반도체기반기술개발사업(SYSTEM IC-2010)

<> 목표

o 시스템IC 기술혁신을 통한 비메모리 반도체산업의 육성

o 선행기술 및 장비 재료의 균형발전을 통한 총체적 역량강화

<> 근거

o 국민의 정부 100대 국정과제(반도체산업의 구조고도화)

o 산업발전법 제13조(산업기반기술개발사업)

o 과학기술혁신을 위한 특별법 제8조(중점연구개발사업)

<> 주관부처 : 산자부, 과기부 공동

<> 총괄주관기관 : 반도체연구조합(책임자 : 김형준 교수)

<> 사업기간 : 1998년 12월∼2003년 6월(55개월)

※ 사업 종료후 2단계(2003∼2006), 3단계(2007∼2010) 사업 추진

<> 총 사업비 : 2,650억원(정부 1,390억원, 민간 1,260억원)

(단위 : 억원)

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1998       1999       2000       2001      2002(안)     계

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정부출연         125        175        190        188        172        850

. 산자부         16         56         70         93         91        326

. 과기부        109        119        120         95         81        524

민간부담         130        212        245        253        218      1,058

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계           255        387        435        441        390      1,908

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주) 억원 이하 반올림

< 참고 2 > 4차년도 사업 성과

<> 인력양성 : 총 5,238명

(단위 : 명)

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계        산업계       대학       연구소       기타

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1차년도          1,142         704           -         185           4

2차년도          1,490         663         708         107          12

3차년도          1,334         652         421          85          14

4차년도          1,272         758         421          85           8

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<> 특허, 논문, 학술발표 : 총 1,556건

o 특허등록 39건

o 특허출원 458건

o 학술발표 643건

o 논문게재 416편