20007년까지 1,200억원을 투입하여 '나노특화Fab센터' 구축.운영키로

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- '나노특화Fab센터 구축사업' 유치기관 공모 -

과학기술부 기계전자기술과 503-7635

<> 과학기술부는 2003.3.7(금) 미래 신산업 창출의 핵심기술인 나노기술 연구개발

지원을 위한 인프라로서 지난해 '나노특화Fab센터' 구축에 이어 화합물 반도체

중심의 비실리콘계 나노소자 분야에 대한 '나노특화Fab센터'를 구축.운영키로

하고 이 사업의 유치기관을 공모하였다.

o 과학기술부는 지난해 9월부터 4개월간에 걸친 기획을 통하여 특화Fab 설치를

위한 특화 기술분야 도출 및 사업추진계획안을 마련하고 20여일간의 행정예고

와 설명회를 통하여 관련 전문가들의 광범위한 의견수렴을 거쳐 화합물반도체

중심의 비실리콘계 '나노특화Fab센터' 기본계획을 확정하였다.

o 화합물반도체는 빛과 전자의 동시제어, 빠른 전자이동로, 고주파 발진, 저전

력 소비 등의 특징을 갖고 있어 정보통신기기의 고속화, 대용량화, 저전력 소

비 및 고효율화 등의 추세를 감안시 미래 성장성이 우수하며, 향후 소자의 집

적을 통한 고부가가치 시스템소자, 고기능성소자 등에 수요가 확대될 것으로

전망되고 있는 분야이다.

o 또한 동 분야는 현재 전자소자, 디스플레이, 무선 및 광통신, 정보처리, 조명

등 다양한 분야에서 산업화 및 관련 연구가 활발히 진행되고 있으나 우리나라

에는 현재 화합물반도체소자 구현을 위한 일괄 공정라인을 갖춘 연구시설이

전무하여 대만 등 해외의 Fab 시설에 의존하고 있는 실정이며, 작년에 설치

된 나노종합Fab센터에서도 오염성이 강한 화합물 반도체의 취급이 곤란하여

별도의 공동연구시설이 필요한 실정이다.

<> 정부는 앞으로 2007년까지 5년간 총 1,200억원(민간 700억원 포함)을 투자하여

화합물 중심의 비실리콘계 나노소자분야의 '나노특화Fab센터'를 구축한다는 방

침을 결정하고, 1단계로 2005년까지 885억원을 투자하여 약 800평 규모의 Fab

시설 구축을 완료하고 본격적인 연구지원 서비스를 제공하게 된다.

o 금년도 투자규모(추정) : 180억원(정부 100억원, 민간 80억원)

<> '나노특화Fab센터'는 특화기술분야ㅔ 대하여 산.학.연에 나노기술 연구장비

이용서비스 제공, 나노기술 전문인력 양성, 나노 벤처창업 및 나노기술이전 서

비스 제공, 나노기술관련 국내외 협력기반 구축 등의 기능을 주로 수행하게 된

다.

o 정부는 Fab센터를 범국가적 공용시설로 운영될 수 있도록 하기 위하여 첫째,

주관기관으로부터의 주직, 인사, 회계 등을 분리 운영하고(독립성 확보), 둘

째, 산.학.연 연구주체가 Fab센터를 항상 접근.이용할 수 있도록 개방운영하

며(공개성 유지), 셋째, 운영 전반에 대하여 관계전문가의 의견이 반영될 수

있는 운영체제를 유지(투명성 지향)해 나갈 방침이다.

<> 정부는 3월 중순에 사업설명회를 개최하고 4월 말까지 사업신청서를 접수받아

서류평가, 발표.패널평가, 현장평가 등 다단계 평가과정을 거쳐 후보기관을 선

정하고 5월 중에 '나노기술개발추진위원회'의 검토.심의를 받아 사업유치기관

을 최종 확정할 계획이다.

<> '나노특화Fab센터'가 구축.운영되게 되면 '나노종합Fab센터'와 함께 국내 나노

기술 연구개발 핵심시설로서의 기능을 수행하게 될 것이다. 특히, 나노기술의

아이디어 발현에서 산업화까지 기술개발 기간을 대폭 줄일 수 있게 되고, 연구

시설 및 장비의 공동활용을 촉진함으로써 투자의 경제성 제고는 물론 소규모

투자로 나노기술의 제품화를 유도할 수 있어 벤처기업 육성 및 활성화를 기할

수 있을 것으로 본다.

<< 나노소자특화Fab센터 구축계획 >>

<> 산.학.연에 대한 화합물 반도체 중심의 비실리콘계 나노소자 관련 특화기술

분야의 연구장비 활용 서비스, 전문인력 양성, 나노벤처 창업 및 연구성과

산업화 지원활동을 수행할 나노특화Fab센터 설치.운영

<> 공모를 통한 공개경쟁방식으로 최적 유치기관 선정

1. 기본방향

<> 국내 최고수준의 화합물반도체 중심 '나노특화Fab센터' 구축

o 공용핵심장비가 유치기관의 전유물이 되지 않도록 독립적으로 운영하고 5년

후 자립화를 원칙으로 함

<> 독립운영이 보장된 Fab센터 구축 지원

o 시설활용성, 접근용이성, 사용편의성, 시설확장성을 고려하여 센터위치를

선정하고, 중.장기적으로 센터 인근에 관련연구실, 벤처기업 등의 입주환경

조성

<> 정부는 특화분야 등 기본방향만 제시하고 장비 및 시설 구축 등 세부추진계

획은 사업신청기관이 수립.제시

o 정부는 최소 필요예산만 지원하고 지자체 및 민간 주도로 추진

<> 시설활용의 극대화를 위해 민간기업 등의 참여 유도

o 부지, 건물 및 부대시설 등은 Fab구축예산(출연금) 이외의 재원을 적극 유

치하여 조달

<> 나노종합Fab센터 등 기타 연구지원시설과의 협력네트워크를 구축하여 투자의

효율성 제고

2. 추진계획

가. 나노소자특화Fab센터 구축 사업개요

<> 사업목표

o 산.학.연 연구주체가 화합물반도체 중심의 나노소자기술 연구개발에 공동

활용할 수 있는 '특화Fab센터' 구축.운영

<> 사업개요

o 사업형태 : 연구기반구축사업(특정연구개발사업)

o 사업기간 : 2003-2007(1단계 : '03-'05)

o 총 사업비(추정) : 1,200억원(정부 500억원, 민간 700억원)

- 1단계 : 885억원(정부 400억원, 민간 485억원)

- 2003년 : 180억원(정부 100억원, 민간 80억원)

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단계      장비   시설설치  운영비   건물*  소계   합계      비고

구입비   유지비          (+부지)               정부    민간

---------------------------------------------------------------------------

2003   118        -       12      50    180

--------------------------------------------          400    485

I단계  2004   240       83       15      24    362    885   (45%)  (55%)

--------------------------------------------

2005   234       90       19            343

---------------------------------------------------------------------------

2006    50       78       24            152     315   100    215

II단계 --------------------------------------------         (32%)  (68%)

2007    50       85       28            163

---------------------------------------------------------------------------

계       692      336       98      74           1200   500    700

(42%)  (58%)

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* Fab 관련 핵심시설에 대한 건축비로서 부대시설 관련 사업비 미포함

* II단계에는 Fab 유지.보수 및 소규모 추가 필요장비 위주로 구입하고 항목별

소요재원은 사업자의 민자유치 조건에 따라 변동될 수 있음

* 정부출연금은 연구장비 구입.설치 및 운영비 일부에 한정

o 소요재원 조달(민간 부담금)

- 유치기관과 참여.협력기관이 부담하는 부지, 건물, 장비, 부대시설,

용역, 재료, 인력 등 특화Fab시설 구축.운영에 실질적으로 투입되는 현

금과 현물의 총액

<> 시설규모

o 나노소자공정실(400평), 계측/특성평가실(300평), 장비개발지원실(100평)

등 약 800평

- 나노소자공정실(400평)

. Class 1-1000급 청정실

. 나노소자 제작용 Mask 설계.제작, 식각, 산화, 후공정처리장비를 구

입하여 화합물반도체 중심의 나노소자 제작을 위한 단위 및 일괄공정

지원

* 오염 방지를 위하여 섹션을 분리 운영

- 계측/특성평가실(300평)

. Class 1000급의 청정실

. 나노소자/소재의 특성을 실시간, 실공간적으로 분석할 수 있는 장비

를 구비하여 시제품의 계측/특성평가 지원

- 장비개발지원실(100평)

. Class 1000급의 청정실

. 화합물반도체 나노소자 관련 장비의  성능평가를 할 수 있는 장비를

구비하여 관련분야 연구 및 생산 장비개발 지원

o Fab시설 이외의 사무실, 연구 및 산업화 지원시설 등 부대시설은 신청기

관의 계획에 따름

<> 장비구축

o 화합물반도체 연구 및 산업화 지원을 위한 공정라인 설치

- 나노종합Fab센터에서 서비스가 어려운 오염성이 강한 화합물반도체 중

심의 나노소자 관련 연구장비 중심으로 구축

- 나노종합Fab센터 구축장비와의 연계성을 고려하여 나노소자 가공 및

특성평가 관련 필수장비 중심으로 확보

o 세부장비목록, 장비 세부 spec 및 연도별 장비구입 순위 등은 신청기관이

사업목적 및 특화Fab의 기능에 맞도록 자율적으로 결정

나. 나노소자특화Fab센터의 기능 및 운영방안

<> 나노소자특화Fab센터의 기능 및 역할

o 특화기술분야의 산.학.연에 대한 연구장비 이용 서비스, 전문인력 양성,

나노벤처 창업 및 연구성과 산업화 지원 등

o 중장기적으로 특화기술분야 전문연구소로 확대 발전하여 국내 나노연구개

발의 구심적 역할 및 세계적 네트워크 중심지화

<> Fab센터 운영방안

o 운영의 기본방향

- 독립성 확보 : 센터는 사업주관기관으로부터 조직, 인사 및 회계 등을

분리.운영(부설기관, 독립법인 형태 등)

- 공개성 유지 : 일정조건하에서 산.학.연 연구주체가 Fab센터를 항상

접근.이용할 수 있도록 개방 운영

- 투명성 지향 : 운영전반에 대하여 관계전문가의 의견이 반영될 수 있는

운영체제 유지(운영위원회, 사용자협의회 운영 등)

o 종합Fab과 특화Fab을 중심으로 기존 NT관련 연구지원시설과 네트워크를

구축함으로써 '범국가적 나노기술 종합지원시스템' 구축

3. 사업유치기관 선정방안

- 사업공고를 통해 공개경쟁방식으로 유치기관 결정 -

<> 평가의 기본방향 --> 종합Fab센터의 평가절차 및 기준 준용

o 객관성, 신뢰성 제고를 위하여 사전 서류검토, 발표.패널 평가 및 현장평가

등 다단계 평가 실시

o 평가의 공정성 확보를 위해 사업신청기관과 직.간접적으로 관계가 없는 중

립적인 인사로 '전담평가단' 구성.운영

o 시설입지조건, 사업추진계획, 사업수행능력 등 다양한 평가요소에 대한 종

합적인 심층평가를 토대로 최적기관 도출

<> 사업 신청자격

o 기술개발촉진법 제7조 제1항의 규정에 해당기관

- 국공립연구기관, 정부출연(연), 대학, 기업부설(연) 등

- 대학, 연구소, 기업 및 지자체간 컨소시엄 구성.신청 가능

<> 사업자 선정기준(안)

o 사업계획 : 계획의 타당성, 종합Fab과의 차별성, 센터의 운영철학/발전비

전, 사업추진전략/체계 등

o 사업능력 : 사업수행능력/전문성, 재원조달방안의 적정성, 참여.협력기관의

적정성 등

o 입지조건 : 부지규모의 적정성 및 확장성, 접근 용이성 및 공공성, 기술적.

환경적 조건, 주변인프라 등

o 발표.패널 및 현장평가의 평가기준은 동일하게 유지하되, 현장평가의 성격

상 주변환경여건 등 입지조건을 중점 평가

- 발표 패널 및 현장평가 결과의 반영비율은 70:30

o 민간부담금의 실효성 및 신뢰성 제고

- 사업신청시 주관기관과 참여.협력기관의 민간부담금에 대한 출자확약서

및 공정증서(어음 또는 금전소비대차 중 선택) 제출

. 주관기관의 경우 출자확약서

. 지방자치단체의 경우 출자확약서 및 이를 입증할 수 있는 공문서 제출

. 지방자치단체의 출자비중이 민간자금 총액의 일정규모(예:20%)를 초과

하는 경우 과학기술부, 지방자치단체, 주관기관을 협약 당사자로 하는

3자간 협약체결 검토

<> 선정절차 및 방법

o 사전 서류검토

- 사업계획서 등 신청서류에 대한 사전검토.분석

- 내용에 대한 평가는 하지 않고, 검토.분석 결과는 발표.패널평가 및 현장

평가시 참고자료로만 활용

o 1차 발표.패널평가(70%)

- 사업책임자의 발표(40분) 및 질의응답(50분)을 통한 패널평가

- 공정성 확보를 위해 종합토론 없이 위원별 평가표 작성 후 이를 평균점수

화(최고점 및 최저점 제외)

o 2차 현장평가(30%)

- 발표.패널평가 결과 상위 2개  기관에 대하여 사업유치기관 및 시설예정

부지 등의 방문을 통하여 현장평가 실시

* 1차평가 결과 2순위와 후순위와의 점수차가 2% 이내로 미세한 경우

현장평가대상에 포함

- 평가기준은 동일하게 유지하되, 현장평가의 성격상 입지조건, 재원조달방

안의 적정성 등을 중점평가

o 위원회 심의

- 최종사업자 선정을 위한 위원회 심의(나노기술개발추진위원회)

o 사업자 확정

- 위원회 심의결과를 토대로 최종사업자 확정.통보(과학가술부)

4. 향후 추진일정

<> 사업공고 및 신청서 접수(3월-4월)

* 사업공고 직후 사업설명회 개최

<> 사업신청서 평가계획 수립(4월)

<> 신청서류 사전검토(5월)

<> 사업자 선정 평가 및 확정(5월)

o 평가위원회 구성.운영(KISTEP)

o '나노기술개발추진위원회'에서 선정.심의

<> 사업계획서 보완(6월)

o 장비 수요조사, Fab건설추진자문단의 자문 등을 통해 보완.수정된 사업계획

서 작성.제출

<> 협약 및 사업착수(7월)

o Fab시설 설계, 건축 및 장비구매 등

<<과학기술부 공고 제 2003-33호>>

"나노소자특화Fab센터구축사업" 유치기관 공모

정부는 나노기술 선진국 수준 진입을 위하여 산.학.연 공동활용이 가능한 화합물

반도체 중심의 비실리콘계 나노소자 관련 연구지원시설로서 '나노소자특화Fab센터

'를 구축.운영할 사업유치기관을 다음과 같이 공모하오니 신청하여 주시기 바랍니

다.

2003년 3월 7일

과학기술부 장관 박호군

1. 사업개요

o 사업기간 : 2003∼2007(2단계 5년간)

- 1단계(2003~2005)에 나노특화Fab센터 구축 완료 및 운영 착수

o 1단계 사업내용

- 나노특화Fab센터 부지 확보 및 건물 신축

- 부대시설/청정실(Clean Room) 설치 및 핵심 연구장비 구매·설치

- 전문인력 확보 등 나노특화Fab센터 운영체제 구축

o 시설규모 : 약 800평

- 나노소자공정실(400평 규모), 계측/특성평가실(300평규모), 장비개발지원실

(100평 규모)

o 센터기능 : 산.학.연에 대한 연구장비 이용 서비스, 전문인력 양성, 나노벤처

창업 및 연구성과 산업화 지원 등

2. 사업비 및 재원조달

o 총 사업비(추정) : 1,200억원(정부 500억원, 민간 700억원)

- 1단계 : 885억원(정부 400억원, 민간 485억원)

- 2003년 : 180억원(정부 100억원, 민간 80억원)

* 정부부문의 사업비는 특정연구개발사업의 정부출연금으로 충당하며, 민간

부문의 사업비는 사업유치기관과 참여·협력기관이 부담하는 현물, 현금

등을 총괄 포함.(현물은 사업에 실질적으로 투입하는 부분만 인정)

o 소요재원 조달

- 정부출연금 : 핵심 연구장비 구입, 설치 및 유지비 일부에 한정

- 민간부담분 : 연구장비 일부, 건축비, 부지 및 부대시설, 시설설치 및 유지

비, Fab센터 운영비 등

3. 시설 및 사업비에 관한 조건

o Fab 시설규모, 총사업비 등 세부적인 내용은 사업신청기관의 상세설계 결과와

부담조건·규모 등에 따라 조정될 수 있음.

4. 사업유치기관 선정 절차 및 방법

가. 기본방향

o 신청기관을 대상으로 사업추진계획, 사업수행능력, 시설입지조건 등 평가요

소에 대한 종합적 심층평가를 통하여 최적의 사업유치기관 선정

o 사업주관기관 선정의 객관성, 공정성 및 신뢰성 확보를 위하여 중립적인 관

련전문가로 '전담평가단'을 구성.운영

나. 사업주관기관 선정평가 기준

o 사업계획 : 계획의 타당성, 종합Fab과의 차별성, 센터의 운영철학 및 발전

비전, 사업추진전략 및 체계 등

o 사업능력 : 주관기관의 추진의지, 책임자의 사업수행능력 및 전문성, 재원

조달방안의 적정성, 참여·협력기관의 적정성 등

o 입지조건 : 시설·부지의 규모의 적정성, 주변 Infra 현황, 접근용이성/공

공성, 주변환경(기술적·환경적조건, 주변산업체 입주 현황)

다. 사업주관기관 선정절차

o 사전 서류검토 절차를 거쳐 1차(발표 및 패널) 및 2차(현장) 평가 실시

o 평가결과와 `나노기술개발추진위원회`의 심의를 거쳐 사업주관기관 최종 선

정

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사전 서류검토 --> 1차(발표·패널)평가 --> 2차(현장) 평가 --> 최종 확정

---------------------------------------------------------------------------

.신청서류 검토.  .사업책임자의 발표를   .발표패널 평가시 .'나노기술개발추

분석             통한 평가              제기된 문제확인   진위원회' 심의후

.복수 후보기관 선정    .시설 및 예정부지  최종기관 선정

현장확인

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* 1차 평가결과 및 현장평가 절차는 2차 평가대상 기관에 개별통보

5. 신청 자격 및 방법

가. 신청자격

o 기술개발 촉진법 제7조 제1항의 규정에 해당하는 기관

- 국공립연구기관, 정부출연(연), 대학, 기업부설(연)

- 대학, 연구소, 기업 및 지자체간 컨소시움 구성, 신청 가능

나. 제출서류 및 방법

o 제출서류

- 사업신청서 및 계획서 각 20부

- 기타 관련자료 각 20부

* 관련서식 등은 '사업안내서'를 참조하거나 한국과학기술기획평가원

홈페이지(http://www.kistep.re.kr)에서 다운로드 받아 사용

o 제출기간 : 2003. 4.24(목)~2003. 4.30(수) 18:00 까지

o 제출방법 : 방문, 우편(마감일까지 도착분에 한함)으로 제출

6. 접수처

o 우편 : 서울시 서초구 양재동 275 동원산업빌딩 9층 (우편번호 : 137-130)

한국과학기술기획평가원(KISTEP) 소재화학전문위원실

o 방문 : 서울시 서초구 양재동 275 동원산업빌딩 5층 제5회의실

* Tel : 02)589-2223, 2221, Fax : 02)589-2260

7. 문의처

o 과학기술부 기계전자기술과

Tel : 02)503-7635, 504-2364, Fax : 02)504-6730

o 한국과학기술기획평가원(KISTEP) 소재화학전문위원실

Tel : 02)589-2223, 2221, Fax : 02)589-2260

8. 기 타

o 사업설명회 개최

- 일시 : 2003. 3.18(화), 15:00

- 장소 : 한국과학기술기획평가원(KISTEP) 국제회의실(8층)

o 사업안내서, 서류양식 등은 첨부물 또는 http://www.kistep.re.kr 에서 열람

가능

o 사업유치기관 선정결과는 인터넷 홈페이지 게시 및 개별 통지 예정