나노기술의 산업화 지원을 위한 마이크로 나노 점·선 가공 기반구축사업 추진

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산업자원부 산업기계과 2110-5622

<> 산업자원부는 초미세  부품 개발  및 나노가공기술 보급촉진을 위해 초미세

부품 및  장비 제작 관련기업,  연구기관, 대학 등을 상호 연계하는 「마이크로

나노 점·선 가공  기반 구축」사업을 추진키로 함

ㅇ 관련기업, 연구소, 대학  등을 연계하여 초미세  구멍과 선 가공을 이용한

나노부품 및  관련 장비  등을  개발하는 「마이크로 나노 점·선 연구지원

센터」를 관련기업이 밀집한 시화공단 내에 구축

<> 향후, 반도체  제조기술 및  전통기계 가공기술을  복합화하여 초미세 기계부품

및 생산기술의 국산화를 앞당기기 위함

<> 산업자원부는 미래 산업의 핵심  기술이 될 초미세 구멍  및 선폭 가공, 격벽

및 탐침 제작 등의 미세 가공기술을 효율적으로 확보하기 위하여 「마이크로

나노 점.선  가공기반 구축 사업」을 금년부터 향후 5년간 추진키로함

<> 동 사업은 초정밀 부품 제조업체, 연구소 및 대학 등을 상호 연계하여 마이크로

나노 기술 분야의 첨단 가공기술 및 장비 개발을 위한 종합 지원체제를 구축하

는 것으로,

ㅇ 기업, 대학 및 연구소간의  산·학·연 연구개발 체제를 구축하여,  미세

가공기술 및 장비의 공동개발을 유도하고새로운 가공기술의 확산보급을 위해

지원센터를 중심으로 관련  첨단장비 등 인프라를 구축하여 차세대  초미세

부품  및 장비시장에서 세계시장을 선도할 수 있도록 지원하고자 함.

<> 「마이크로 나노  점·선 가공기반구축」사업은  산업기술대학과 연세대학교를

공동사업자로 지정하여  추진하며 2003년부터 2008년까지 5년간 국비 42억원,

민간 12억원  등 총 56억원의 사업비를 투자할 예정이며, 금년에는 국비 6억

원을 지원함

<> 산업자원부가 이러한 마이크로 나노 점  선 가공 기반구축 사업을 추진하게된

배경은

ㅇ 현재, 초미세 가공장비의 대부분을 수입에 의존하고 있는 상황에서 가공기술의

개발 및 장비의 국산화가  가공 제품의 수출경쟁력 확보에 도움이 될 뿐

아니라,

ㅇ 향후, 급격한 수요가 예상되는  바이오 칩, 도강판의 미세격벽 등 다양한

초미세 부품  제조에 필수적인 마이크로 나노 영역의 기술 확보는 필수적임

ㅇ 또한, 우리나라가  경쟁력을 확보하고 있는  반도체 제조기술을 초미세가공

기술에 활용함으로써 향후 정밀 가공기계 산업을 육성할 수 있으며

ㅇ 나노기술개발을  시도하고 있는  벤처기업이 개별적으로 갖추기에는 고가인

초미세  가공장비를 공동  활용할 수 있는 기회를 제공하고자 함

<> 본 사업은 연세대학교에 나노부품 및 관련  장비 등을 개발하는 나노 점·선

지원센터를 구축하고,  산업기술대학은 정밀 가공기술 업체를  대상으로 신속

하게 가공기술을 지원하는 마이크로 점·선 지원센터를 운영하는 등 이원화

체제로 운영됨

<별첨> 마이크로-나노 점·선 가공 기반구축 개요

□ 사업개요

o 초소형 정밀기계, 초미세 금형, 바이오 칩, DNA조작용 필터 등으로 대표

되는 마이크로 나노 신산업분야의 응용제품에서  요구되는 초미세 점 및

극미세 선폭가공, 격벽가공, 초미세 탐침제작 등을 전문적으로 수행할 수

있는 센터구축.

o 구축된 장비를 기반으로 신산업을 위한 마이크로 나노 응용제품 지원, 연

구개발 지원 및 개발응용제품의 양산화를  위한 생산시스템 개발을 지원함.

□ 사업내용

o 총사업기간: 2003. 5∼2008. 4(5년)

o 세부사업내용

100㎛-50㎚ 수준의 초미세 구멍 및 선폭가공지원

바이오 분야 1,000x1,000 Matrix형 초미세 필터제작 지원

환경정화 및 나노 측정기에 사용될 극미세 반경을 갖는 탐침제작지원

Chemical sensor, Bio sensor 등 Micro-nano sensor분야의 핵심 형상기술

지원

3차원 형태의 그루부 형성기술

다이아몬드, 세라믹 재료 등 비철금속에 대한 초미세 가공기술기반 구축

마이크로 나노 영역에 걸쳐 가공된 제품의 측정, 평가 기반구축

□ 기대효과

o 미국, 일본 등 선진국과 동등한 마이크로 나노 분야 공통제조기반 확보

o 최근, 큰 시장으로 성장하고 있으나 기반구축이 미흡한 마이크로 나노 부

품(100㎛∼50㎚)의 고생산성 제조기술 기반구축 가능

o 세계시장에서 시장주도권을 형성할 수 있는 응용제품개발지원으로 동 분야

국제 경쟁력 확보가능.

□ 소요 예산

o 총소요액: 56억원(정부 42억원, 민자 14억원)

o 2003 정부지원 6억원