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KDI 경제정보센터최신자료
- 나노종합기술원, 반도체 가늠터(테스트베드) 1주년 성과보고회 개최
- 과학기술정보통신부 연구개발정책실 기초원천연구정책관 융합기술과 2022.01.27 6p 정책해설자료
과학기술정보통신부와 나노종합기술원은 반도체 소부장 12인치 테스트베드 서비스 개시 1주년을 맞아 1.26.(수) 엘타워에서 그간의 반도체 소부장 국산화 지원성과 등을 공유하는 성과보고회를 개최하였다고 밝혔다.
- 나노종기원의 반도체 테스트베드는 ’19년도 일본 수출규제에 대응하여 국내 소부장 기술자립화를 위해 과기정통부의 지원으로 신속히 구축하여 작년 3월부터 서비스를 제공하고 있음.
- 이날 행사에서는 테스트베드 구축 및 운영실적 보고와 함께 지난 1년동안의 소부장 기술자립화 우수성과로 “반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화”, “반도체 PECVD 장비 국산화” 사례 등을 발표함.
- 또한, “ArF Immersion용 반도체 소재(감광제, 반사방지막 등)”, “12인치 DRIE 식각장비” 등 12개의 반도체 소부장 연구성과가 함께 전시되어 산학연 관계자들이 관람하고 성과를 공유할 수 있도록 하였음.
- 아울러, 코로나19 등 국민건강 대응 및 맞춤형 디지털 헬스케어를 위한 「반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발사업(2021~2025)」을 통해 개발한 플랫폼기술과 상용화 연구성과도 발표하였음.
- 이 외에 우수 이용고객과 협력사에 대한 시상도 있었는데, 이는 향후 수요기업들과의 상생협력과 동반성장 문화조성의 일환으로 진행되었음.
<붙임> 나노종합기술원 반도체 소부장 성과보고회 개요
- 나노종기원의 반도체 테스트베드는 ’19년도 일본 수출규제에 대응하여 국내 소부장 기술자립화를 위해 과기정통부의 지원으로 신속히 구축하여 작년 3월부터 서비스를 제공하고 있음.
- 이날 행사에서는 테스트베드 구축 및 운영실적 보고와 함께 지난 1년동안의 소부장 기술자립화 우수성과로 “반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화”, “반도체 PECVD 장비 국산화” 사례 등을 발표함.
- 또한, “ArF Immersion용 반도체 소재(감광제, 반사방지막 등)”, “12인치 DRIE 식각장비” 등 12개의 반도체 소부장 연구성과가 함께 전시되어 산학연 관계자들이 관람하고 성과를 공유할 수 있도록 하였음.
- 아울러, 코로나19 등 국민건강 대응 및 맞춤형 디지털 헬스케어를 위한 「반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발사업(2021~2025)」을 통해 개발한 플랫폼기술과 상용화 연구성과도 발표하였음.
- 이 외에 우수 이용고객과 협력사에 대한 시상도 있었는데, 이는 향후 수요기업들과의 상생협력과 동반성장 문화조성의 일환으로 진행되었음.
<붙임> 나노종합기술원 반도체 소부장 성과보고회 개요
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