환경부 소속 화학물질안전원은 화학사고 위험을 줄이기 위해자체 개발한 ‘신속 누출 탐지 및 차단 기술’을 탑재한 반도체 가스공급설비를 시범 설치한다고 8월 6일 밝혔다.
- 반도체·디스플레이 업종은 공정 특성상 독성물질과 인화성물질을 많이 사용하여 누출 시 피해 영향범위가 다른 업종보다 더 크기 때문에 신속하게누출을 탐지하여 즉시 차단해야 위험을 줄일 수 있음.
- 가스공급설비(캐비닛) 에서 누출이 발생하면 누출 가스를 신속히 포집하여 중화처리 설비로 이송해야 하나, 가스 누출 감지가 늦어져 일부 고압가스가 실내로 유입되어 근로자 피해가 발생할 수 있으며, 이를 방지하기위해 신속한 가스 누출 탐지와 차단이 필요한 상황임.
- 향후 화학물질안전원은 이번 시범사업의 효과를 분석하여 이 기술을 국내 반도체·디스플레이 사업장에 홍보하고, 가스공급설비 국제 표준(SEMI*) 인증에반영될 수 있도록 검증기관과 협의할 계획이라고 밝힘.
<붙임> 초음파 탐지기를 활용한 ‘신속 누출 탐지 및 차단 기술‘ 개요