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반도체 생명수 ‘초순수’ 기술 자립화 속도 낸다
기후에너지환경부는 ’26.5.26.(화) 2030년까지 초순수 전공정 핵심기자재 90% 국산화를 목표로 한 ‘차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업(2단계)’을 본격 시작한다고 밝혔다.
- 2단계 사업은 1단계 성과를 기반으로 초순수 생산 전 주기의 핵심기술 및 기자재 국산화와 2030년까지 초순수 기술 자립화 완성이 목표임.
- 새로운 사업에서는 초순수 공급 배관 소재까지 국산화 범위를 확대하고, 국산화율을 90% 이상으로 상향하며, 하수재이용수 활용, 저에너지형 실증설비 개발, 초극미량 분석기술 확보 등이 추진됨.
- 내년부터 ppt(1조분의 1) 수준의 초극미량 분석기술 개발을 통해 초순수 생산뿐 아니라 품질 평가능력도 강화할 계획임.
- 기후에너지환경부는 향후 국내 초순수 산업의 기술 생태계 확충을 통해 첨단산업 경쟁력과 국가 물산업 경쟁력을 동시에 강화할 계획임.
<붙임> 차세대 초순수 생산공정 연구개발 사업개요
- 2단계 사업은 1단계 성과를 기반으로 초순수 생산 전 주기의 핵심기술 및 기자재 국산화와 2030년까지 초순수 기술 자립화 완성이 목표임.
- 새로운 사업에서는 초순수 공급 배관 소재까지 국산화 범위를 확대하고, 국산화율을 90% 이상으로 상향하며, 하수재이용수 활용, 저에너지형 실증설비 개발, 초극미량 분석기술 확보 등이 추진됨.
- 내년부터 ppt(1조분의 1) 수준의 초극미량 분석기술 개발을 통해 초순수 생산뿐 아니라 품질 평가능력도 강화할 계획임.
- 기후에너지환경부는 향후 국내 초순수 산업의 기술 생태계 확충을 통해 첨단산업 경쟁력과 국가 물산업 경쟁력을 동시에 강화할 계획임.
<붙임> 차세대 초순수 생산공정 연구개발 사업개요
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